توفر هذه المواصفة القياسية الدولية اجراءات تحليل التخطيط العنصري للمسبار الإلكتروني الدقيق باستخدام التحليل الطيفي لطول الموجة الانتشارية. ويتم تقدير الاختيار بين تخطيط الحزمة الإلكترونية المنتقلة رقميًا عبر العينات (تخطيط الحزمة الإلكترونية). وتوضح خمسة أنواع من معالجة البيانات: طريقة بيانات الكثافة للأشعة السينية X الخام وطريقة قيمة ك وطريقة المعايرة وطريقة الترابط وطريقة تصحيح المصفوفة.